在局域网上可被远程访问 大屏幕液晶显示用闪存增强数据存储性能 优化的设计加强了电路的通用性和集成性
易于维护的内部布局 配有质量流量稀释系统 配有产生O3和NO2的气相滴定装置 可配产生SO2，NO2，H2S，NH3等气体的渗透炉 可配紫外光度计
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流量测量准确度
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±2%读数或1%满度值，以较低者为准（20至100%满度值）
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流量测量线性
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0.5%满度值
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流量测量重复性
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±2%读数或1%满度值，以较低者为准（20至100%满度值）
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零气流量
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5或10（标准）或20 slm
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标气流量
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50或100（标准）或200 sccm
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渗透炉温度
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30℃或35℃或45 ℃ ±0.1℃
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臭氧源输出浓度
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6 ppm-liters(稳定性和重复性满足或超过U.S.EPA的要求)
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